业务范围
核心优势
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全尺寸覆盖
6/8/12英寸系列机型,适配主流晶圆规格及新兴大尺寸需求
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工艺深度协同
自有实验室提供划切方案验证,支持SiC、超薄硅片等难加工材料
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开放定制能力
可按需配置主轴功率、显微镜倍率、刀盘类型及工作台结构
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国产替代实践
已批量应用于华天科技、天岳先进等头部封测与材料企业
痛点解决
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精度不足导致良率低
高刚性结构设计+空气静压主轴,抑制热漂移与振动,保障微米级切割稳定性
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购置与运营成本高
相比进口机型具备显著性价比优势,支持长寿命刀具适配与低功耗系统优化
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多材料适配困难
模块化平台设计,通过参数组合与夹具定制,兼容硅、蓝宝石、陶瓷、玻璃等基材
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操作复杂培训周期长
图形化人机界面+复数加工选择功能,降低编程门槛,缩短新员工上手时间
服务流程
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1
需求对接
明确材料特性、晶圆尺寸、产能要求及特殊工艺约束
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2
方案匹配
推荐标准机型或启动定制化配置评估,同步提供工艺可行性分析
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3
样机验证
客户送样至工艺实验室进行实切测试与参数调优
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4
交付部署
设备出厂前完成整机联调,现场安装调试并提供基础操作培训
资质荣誉
服务承诺
常见问题
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Q:是否支持超薄晶圆(<100μm)划切?
A:支持。通过减振结构优化与自适应进给控制,已在SiC及超薄硅片应用中验证稳定划切效果。
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Q:能否适配HJT/TOPCon电池等新型光伏工艺?
A:可以。设备支持玻璃基板、异质结叠层等非传统半导体材料,已有通威电子等光伏客户应用案例。
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Q:是否提供自动化产线集成支持?
A:支持SECS/GEM通信协议,可对接FAB厂MES系统及上下料机械臂,满足智能工厂升级需求。
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Q:HP系列不同型号主要差异是什么?
A:HP-6100/6103面向6英寸及以下多材料通用场景;HP-802/1201/1221分别对应8英寸、12英寸单轴及双轴全自动产线需求。